測(cè)量平臺(tái)的材料有用鑄鐵制造，也有用花崗巖制造，這兩種材料各有其優(yōu)缺點(diǎn)。鑄鐵測(cè)量平臺(tái)已有長久的使用歷史，它具有一定的耐磨性、較好的短期穩(wěn)定性、長期穩(wěn)定性取決于它的穩(wěn)定處理、受潮會(huì)長銹但不變形、碰撞時(shí)表面可能出小坑，但不出毛刺故不影響測(cè)量。可根據(jù)實(shí)際條件來選用測(cè)量平臺(tái)的材料。中小工件平時(shí)都放在測(cè)量平臺(tái)上進(jìn)行檢測(cè)，故測(cè)量平臺(tái)實(shí)際上是測(cè)量的基準(zhǔn)面，對(duì)它應(yīng)有嚴(yán)格的精度要求。

1、測(cè)量平臺(tái)的選用

1）現(xiàn)在標(biāo)準(zhǔn)的平臺(tái)有不同的精度等級(jí)  標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái)有00,0,1,2級(jí)。正確選用和保持平臺(tái)表面處于良好狀態(tài)，對(duì)獲得精確地測(cè)量結(jié)果十分重要。

現(xiàn)在生產(chǎn)中使用的平臺(tái)的測(cè)量表面多數(shù)為矩形，長寬比約為4:3。用三塊平臺(tái)輪流相互對(duì)研，達(dá)到完全接觸，即認(rèn)為已獲得良好的平面。高精度的基準(zhǔn)平臺(tái)應(yīng)采用正方形臺(tái)面，平面度達(dá)到0.6μm。矩形平臺(tái)三塊對(duì)研，有可能產(chǎn)生一種扭曲面，相互間仍能相配；方形平臺(tái)對(duì)研時(shí)轉(zhuǎn)過90°即可避免這種扭曲。

2）測(cè)量平臺(tái)的結(jié)構(gòu)  過去平臺(tái)都采用平板下加強(qiáng)筋，有三個(gè)支撐點(diǎn)架在底架上。這種結(jié)構(gòu)剛度不是很高，不能滿足高精度測(cè)量要求。現(xiàn)在的測(cè)量平臺(tái)都采用箱式結(jié)構(gòu)，扁平的箱中有加強(qiáng)肋支撐，這種結(jié)構(gòu)的剛性大大提高，因而保證了高精度的測(cè)量。

3）

2、測(cè)量平板的支撐

大尺寸的平臺(tái)重量較大（例如1200mmX1200mm的平臺(tái)質(zhì)量約為1150kg），如采用三點(diǎn)支撐則支撐點(diǎn)間距離大，平臺(tái)將因自重及加上的較重被測(cè)件而變形，平臺(tái)變形將影響測(cè)量精度。

大型測(cè)量平臺(tái)常采用多點(diǎn)支撐法。例如，在原來平臺(tái)的三個(gè)支撐點(diǎn)上，各放一個(gè)能浮動(dòng)的三爪支撐架，上面再放測(cè)量平臺(tái)。這樣，大型平臺(tái)有了九個(gè)受力支撐點(diǎn)，各支撐點(diǎn)均能均勻受力，但實(shí)際上仍是應(yīng)用了三點(diǎn)支撐一平面的原理。由于各支撐點(diǎn)間距離大大縮小，平臺(tái)受力的變形減小很多，明顯提高了測(cè)量精度。

3、鑄鐵測(cè)量平臺(tái)本身的精度檢驗(yàn)

測(cè)量平臺(tái)（特別是鑄鐵平臺(tái)）使用后，因磨損和變形會(huì)使精度下降。因此需要定期復(fù)檢測(cè)量平臺(tái)表面的平面度。

常用的平臺(tái)檢測(cè)是用三塊平臺(tái)輪流對(duì)研，找出凸起處進(jìn)行刮研，直到接觸斑點(diǎn)分布均勻。對(duì)高精度測(cè)量平臺(tái)檢測(cè)平面度可用電子水平儀、自準(zhǔn)直光管或雙頻激光干涉儀，測(cè)出平臺(tái)各處的水平傾角，經(jīng)過數(shù)據(jù)處理，可以得到平臺(tái)各處平面度誤差的具體數(shù)值。